EDX-LE能量色散X射線分析是常用的分析手段，在電子與物質相互作用時，采用能聚焦的入射電子可以激發初級x射線，不同元素發射出來的特征x射線波長不同，能量也不同。利用x射線能量不同而展譜一般稱為x射線能譜分析或能量色散x射線分析，所用設備通常稱為能量色散譜儀。

 

　　EDX-LE能量色散X射線分析的主要單元是半導體探測器及多道脈沖高度分析器，用以將特征x射線按能量展i｝｝Er7，5的分辨率遠不如波長色散譜儀，它有分析速度快的優點，和通用的x射線波長色散譜儀相比可提高10倍，如果進行物相鑒定，只需幾分鐘就可以得到被測物質的全部衍射花樣。

 

　　X射線熒光分析技術（XRF）作為常規、快速的分析手段，開始于20世紀50年代初，經歷了50多年的不斷發展，現在已成為物質組成分析的方法之一。由于波長色散配備較大功率的X光管，熒光強度高；因此，波長色散儀器占用較短的測量時，便能達到較高的測量精度。

 

　　X射線熒光分析技術可以分為兩大類型：波長色散X射線熒光分析（WDXRF）和能量色散X射線熒光分析（EDXRF）；而能量色散型又根據探測器的類型分為（Si－PIN）型和SDD型。在不同的應用條件下，這幾種類型的技術各有其突出的特點。

 

　　目前，X射線熒光分析不僅材料科學、生命科學、環境科學等普遍采用的一種快速、準確而又經濟的多元素分析方法。也是X射線熒光光譜儀也是野外現場分析和過程控制分析等方面的儀器之一。同時，成為地質、冶金、建材、石油化工、半導體工業和醫藥衛生等領域的重要分析手段。