島津能量色散X射線分析的核心結構為激發源和探測器，其中，激發源是激發元素產生特征X射線的構件，有帶電粒子激發、電磁輻射激發、內轉換現象和核衰變等方式，而常用的激發源是電磁輻射激發。

 

　　島津能量色散X射線分析的主要功能是測定物質中元素的種類和含量，大家都知道，物質是由元素組成的，每一種化學元素的原子都有其特定的能級結構，核外電子都以各自*的能量在各自的固定軌道上運行，當高能X射線轟擊原子，原子內層電子獲得能量脫離原子的束縛，成為自由電子，并在內層電子軌道形成空位，我們說原子被激發了，這時外層軌道的電子便會趁機躍遷填補這一空位，同時產生特征X射線。

 

　　由于每一種元素的原子能級結構是特定的，躍遷時產生的特征X射線的能量也是固定的（兩軌道電子殼層的能量差），因此通過測定特征X射線的能量，便可以確定相應元素，而特征X射線的強弱則代表該元素的含量。采用的是微型X射線管；探測器是將X射線熒光的能量和強度轉化成一定形狀和數量的電脈沖，實質上就是一個能量→電量的傳感器，常用的探測器有正比計數器、閃爍計數器和半導體計數器，本儀器用的是半導體計數器（硅漂移探測器），能量分辨率優于前兩者。

 

　　由于每一種元素的原子能級結構是特定的，躍遷時產生的特征X射線的能量也是固定的（兩軌道電子殼層的能量差）。因此通過測定特征X射線的能量，便可以確定相應元素，而特征X射線的強弱則代表該元素的含量。